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2019-10-23 21:19
一种长腔长微机电可调谐法布里-珀罗滤波器
发布者:admin 发布时间:2019-3-14 阅读:1138
项目编号: ZLZR2009014

 

应用行业领域

装备制造-精密机械

适用范围

成果内容简介

本发明提供一种长腔长微机电可调谐法布里-珀罗滤波器,滤波器的上基板由双面腐蚀后截面呈“W”形的体硅及其下表面的浓硼掺杂层构成,“W”形体硅上表面以透明薄膜作为支撑膜,其上的反射膜作为法布里-珀罗滤波器的前腔镜,“W”形体硅下表面不同区域的浓硼掺杂层可分别作为悬臂梁和上电极。滤波器的下基板由石英玻璃构成,其上表面与前腔镜和上电极对应的区域分别制作有后腔镜和下电极,下表面与后腔镜对应的区域刻有衍射光栅。该微机电滤波器可方便获得 200μm 以上的初始腔长,能在不同方向上实现单一波长的滤波,具有窄半峰全宽和宽自由光谱范围的优点,在光通讯,光信息读取,激光技术等领域中有广泛的应用前景。

前期应用示范情况

获得研发资助情况

联系人:嘉兴

联系方式:0573-82685755

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